在半导体行业中,制造过程是一个复杂的过程,涉及多个步骤才能达到预期结果。每个工艺步骤都使用不同类型的设备。半导体行业设备使用一种特定类型的通信协议,称为 SECS/GEM(SEMI 设备通信标准和通用设备模型)。
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转载请注明出处: 免费源码网-免费的源码资源网站 » 半导体制造过程中设备通信的高级概述
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